Ellipsometer
橢 偏 儀
膜層厚度，折射率，消光系數，褪偏因子
界面粗糙度，混合膜層比例，結晶度，不均勻分布
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RC/RC2/RA
SE
X-Y/X-?
1s
具有笛卡爾與極坐標2種可選多點Mapping、RC/RC2/RA 3種橢偏模式、雙光纖等性能。
我們的激光橢偏具有：支持皮帶及機械手傳片全檢或抽檢等性能。
工業用激光橢偏儀型號: XE3000
教學用激光橢偏儀型號: LE-M5
膜厚儀，或稱反射式膜厚儀，使用反射率R為中間參量計算鍍層膜厚，支持皮帶及機械手傳片全檢或抽檢等性能，可與離線光譜橢偏儀對標。
工業用在線膜厚儀型號：MSR100
離線式通用膜厚儀型號：T20(單點)，T40(微光斑)，T60(微快速多點)，T80(自動化)
SR
反射率測試儀，或稱8°角反射率測試儀，離線結構為X-?式 Mapping 結構，單點時間0.3秒，9點時間約6秒，支持皮帶及機械手傳片全檢或抽檢。
工業用最新離線反射率測試儀型號：REF300D
我們提供各式光譜橢偏、激光橢偏、反射式光譜等檢測儀器。
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系科儀器（上海）有限公司
